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本文介绍了真空电弧镀膜环境下用法拉第杯分析等离子参数的实验系统。利用该系统，着重测量了气压、电流等参数对离子能量的影响，以及离子能量在固定位置的角分布。由测量结果，讨论了ＶＡＤ中的复合离子参数值，在１００Ａ，０．６６Ｐａ，偏压－１００Ｖ下，典型的最大离子能量为７５ｅＶ，到达工件Ｅｐ值为８２８ｅＶ／ａｔｏｍ。