Plasma Limiter Based on Surface Wave Plasma Excited by Microwave

来源 :Plasma Science and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户:taorong19880903
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A novel plasma limiter,in which the plasma is excited by surface wave,is presented.The breakdown time of some gases filled in the limiter were calculated as a function of gas pres-sure,ionization degree and density of seed electrons under low pressure(0.01~1 Torr)and highpressure(10~1000 Torr)cases.The results show that the limiter filled with Xe with a pressure of0.9 Torr,seed electron density of 10~(16)m~(-3),and ionization degree of 10~(-4),has a breakdown timeof approximate 19.6 ns. A novel plasma limiter, in which the plasma is excited by surface wave, is presented. Breakdown time of some gases filled in the limiter were calculated as a function of gas pres-sure, ionization degree and density of seed electrons under low pressure ( 0.01 ~ 1 Torr) and highpressure (10 ~ 1000 Torr) cases.The results show that the limiter filled with Xe with a pressure of 0.9 Torr, the electron density of 10 ~ (16) m ~ (-3), and ionization degree of 10 ~ (-4), has a breakdown time of approximate 19.6 ns.
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