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本文采用求光场方程、载流子扩散方程，热导方程以及泊松方程自洽解的方法，研究了垂直腔面发射半导体激光器的电，热和光波导特性。计算结果表明，出射窗口半径和限制区的深度，厚度以及半径是影响其注入电流和电压分布的主要因素。在不同的深度，电流和电压的分布是不同的。因而电流的分布不是一个固定的模式，对于较大出射窗口的垂直腔面发射半导体激光器，有源区的电流密度分布不均匀是引起高阶横模的主要原因。限制区的位置对有