【摘 要】
：
本文扼要叙述了扩展电阻分析用以测量较低浓度砷的剖面的有效性,进而研究了较低浓度砷在硅中的扩散问题.由于通过快速热退火对样品进行预处理,排除了辐照损伤对扩散系数测定
【机 构】
：
北京师范大学低能核物理所,北京师范大学低能核物理所北京,北京,北京
论文部分内容阅读
本文扼要叙述了扩展电阻分析用以测量较低浓度砷的剖面的有效性,进而研究了较低浓度砷在硅中的扩散问题.由于通过快速热退火对样品进行预处理,排除了辐照损伤对扩散系数测定的影响,从而测得砷在硅中本来意义下,即替位扩散意义下的本征扩散系数.如所预期,这组数据比国外直至目前所测得的数据要低.浓度剖面的实验数据由非线性扩散方程的数值解进行拟合.结果表明:SUPREM III所采用的模型在较高浓度区扩散系数随浓度递增速率较小,Hu理论仍然和本实验(?)较符合.本文还求得了扣除辐照损伤增强扩散效应后,砷在硅中的激活能为4.
其他文献
实验结果表明,利用O2/N2的低分压再氧化和中间氧化,以及利用O2/NH3的掺氧再氮化均能有效地改善氮氧化膜的界面特性,而其优异的电击穿特性则得以保持或稍有改善。在三种氧处理
随着医疗事业的发展,传统医学教学模式已不能满足规范化培训麻醉医生的需求,当今新型教学模式的兴起为临床教学提供了新方向。本文就以团队为基础的学习(TBL)、基于问题的学
唱票人话音未落，就被一阵阵热烈的掌声所覆盖。这是6月9日，发生在冠农绿原糖业有限公司的一个场面，由职工代表对《客运站农贸市场门面房二期项目购房议案》/《员工关爱承保方案
地球科学数据网格技术是起源于上世纪六十年代的技术。在近年以来,由于计算机技术以及相关学科的不断发展,地球科学数据网格的研究也逐渐进入了快速发展的时期。因此地球信息
研究了快速热生长二氧化硅MOS结构的负偏压温度不稳定性。这种MOS结构在未经受过金属化后热处理时有室温负偏压不稳定性,但热处理后,其负偏压温度不稳定性就比电阻炉中热生长
本文首次通过建立二维热传导模型,给出了条形InP/InGaAsP四元系半导体激光器中的瞬态热特性的理论计算结果,它包括了在几种条件下,激光器管芯内温度的空间分布随阶跃电注入的
本文研究了用 nμc-Si:H/SiO_x/Ag结构取代 nμc-Si:H/Ag结构对 a-Si:H pin型单结太阳能电池光伏参数的影响,观测到这种电池的填充因子和短路电流有所改善,文中对这些参数改
本研究将僵蚕软坚汤加减方应用于膀胱癌患者的术后治疗中,旨在探究其对膀胱肿瘤局部切除术患者免疫功能、血清肿瘤标志物及预后的影响,现报告如下。1资料与方法1.1临床资料:
将趣味化教学与生活化教学引入小学体育课堂 中,能够让体育课更加有趣,也能吸引更多学生的注意,让学生 愿意参与到体育课教学中,从而锻炼自身身体素质,保证体育 教学质量。本
我感谢父母，生我养我，给了我成长的摇篮；我感谢老师，教育我辅导我，给予我认知的文化；我感谢同事，关心我帮助我，让我在异乡找到第二故乡的温暖；我感谢周围的每一个人，