单带差超晶格中ZnS薄膜的制备及其性质

来源 :四川大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：TDH39520007

【摘要】

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利用射频磁控溅射法制备了单带差超晶格中ZnS薄膜. 通过XRD和AFM的观察,对其结构进行了研究,并确定了制备均匀致密的多晶ZnS薄膜的最佳条件. 此外,对300 ℃和400 ℃衬底温度

【作者】

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孟奕峰黎兵冯良桓李愿杰黄杨王洪浩刘才颜璞

【机构】

：

四川大学材料学院

【出处】

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四川大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2010年3期

【关键词】

：

射频磁控溅射法 ZNS薄膜单带差超晶格太阳电池 magnetron sputtering technique ZnS thin films single

【基金项目】

：

基金项目：国家自然科学基金（60506004）,国家高技术研究与发展计划（2003AA513010）

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利用射频磁控溅射法制备了单带差超晶格中ZnS薄膜. 通过XRD和AFM的观察,对其结构进行了研究,并确定了制备均匀致密的多晶ZnS薄膜的最佳条件. 此外,对300 ℃和400 ℃衬底温度下的ZnS薄膜的光透过谱和吸收谱进行了对比,计算出了溅射法制备的ZnS薄膜的光能隙分别为3.82 eV、3.81 eV,与理论值一致. 这种高透过率、均匀致密的ZnS薄膜可用于研制新型高效率的单带差超晶格ZnS/CdS/P-CdTe太阳电池.

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