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根据已经的有关文献实验数据，针对ＩｎＧａＡ１Ｐ发光材料的ＬＰ－ＭＯＣＶＤ生长，给出了描述Ｉｎ组分偏离报经验表达式，可应用于ＩｎＧａＡ１Ｐ双异质结生长中的Ｉｎ组分的控制。
LP-MOCVD生长InGaAlP双异质结中In组分控制的研究
【摘 要】
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根据已经的有关文献实验数据，针对ＩｎＧａＡ１Ｐ发光材料的ＬＰ－ＭＯＣＶＤ生长，给出了描述Ｉｎ组分偏离报经验表达式，可应用于ＩｎＧａＡ１Ｐ双异质结生长中的Ｉｎ组分的控制。
【机 构】
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华南理工大学应用物理系华南师范大学MOCVD实验室
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年5期
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