【摘 要】
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在波导制备过程中经常需要进行淀积膜的形貌观察，如膜的表面起伏、波导侧壁的粗糙度和波导的断面形状等。扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）是这种形貌观察最常用的工具。AF
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在波导制备过程中经常需要进行淀积膜的形貌观察，如膜的表面起伏、波导侧壁的粗糙度和波导的断面形状等。扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）是这种形貌观察最常用的工具。AFM结合了指针轮廓仪和扫描隧道显微镜（STM），利用针尖在样品表面作光栅扫描，得到表面的三维轮廓图，可以分析出表面起伏的数值，但是当波导厚度大于2μm时，探测的针尖不能准确探测到波导根部，这样，制作出的矩形波导就会被探测成梯形，图18为55×65μm^2间距为125μm的激光烧蚀波导阵列的显微镜图像。
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