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采用基于物理模型的α指数MOSFET模型,对超深亚微米(VDSM: Very Deep Submicron)SRAM存储单元的静态噪声容限(SNM:Static Noise Margin)进行了解析分析,分析中考虑了随机工艺涨落造成的VDSM SRAM存储单元阈值失配对SNM的影响,结果与HSPICE仿真相符;文中同时分析了栅宽与SNM的关系,其结论与实验结果一致,并给出了VDSM SRAM存储单元设计中应注意的问题.