【摘 要】
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晶圆卡盘是晶圆加工中常用的夹持装置，具有精度高、吸附力大、夹持平稳的特点。工作时，晶圆卡盘一般处于热力耦合的环境中，引起的变形和受力难以预知和理论分析。总结了热力耦合仿真流程，回顾了热力耦合理论，并对某型键合设备中使用的TC4晶圆卡盘进行了热载荷单独作用、外载荷单独作用、热力耦合作用的对比仿真研究。同时，针对结果进行了优化分析，为后续改进提供参考。
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晶圆卡盘是晶圆加工中常用的夹持装置，具有精度高、吸附力大、夹持平稳的特点。工作时，晶圆卡盘一般处于热力耦合的环境中，引起的变形和受力难以预知和理论分析。总结了热力耦合仿真流程，回顾了热力耦合理论，并对某型键合设备中使用的TC4晶圆卡盘进行了热载荷单独作用、外载荷单独作用、热力耦合作用的对比仿真研究。同时，针对结果进行了优化分析，为后续改进提供参考。
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