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同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kobiko
【摘 要】
:
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(
【作 者】
:
薛松
邵景鸿
徐正良
孙剑辉
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022,长春130022,长春130022
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
同步辐射
X辐射
多层膜
反射率
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采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
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