一种新型的表面传导电子发射阴极

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:svincent_su
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本文介绍了表面传导电子发射(SCE)显示技术,提出Bi2O3/C/Cu结构的双薄膜型SCE阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。与佳能公司的SCE阴极相比,该结构采用了廉价的方式实现纳米级缝隙的构建,大大减小了激活时间与制备成本。实验表明,薄膜的蒸镀参数对制得的阴极性能有很大影响。通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率达到0.8%,向器件实用化方向迈出了重要的一步。
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