【摘 要】
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毛细管放电极紫外激光是一种小型化的纳秒极紫外激光光源。相比于自由电子激光和同步辐射等短波长光源，该光源具有运行成本低、单脉冲能量高和机时充足等明显优势。随着毛细管放电极紫外激光光源的发展，其输出已提高至深度饱和区，并且实现了重频输出、多波长输出等多样化的输出方式。小型化的灵活性和优质的输出参数使其逐渐成为进行极紫外激光应用研究的理想光源。本文介绍了自1994年毛细管放电极紫外激光成功输出至今，该光
【基金项目】
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国家自然科学基金（62005066,61875045）；
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毛细管放电极紫外激光是一种小型化的纳秒极紫外激光光源。相比于自由电子激光和同步辐射等短波长光源，该光源具有运行成本低、单脉冲能量高和机时充足等明显优势。随着毛细管放电极紫外激光光源的发展，其输出已提高至深度饱和区，并且实现了重频输出、多波长输出等多样化的输出方式。小型化的灵活性和优质的输出参数使其逐渐成为进行极紫外激光应用研究的理想光源。本文介绍了自1994年毛细管放电极紫外激光成功输出至今，该光源在微纳结构加工、物质成分检测、生物科学以及高分辨成像等领域的前沿应用。在微纳加工方面，极短的波长和极小的能量衰减深度使得该光源能够在纳米量程内进行材料的刻蚀。同时，较长的激光脉宽增加了极紫外激光诱导自组织微纳结构的可能性；在物质成分检测方面，极紫外激光的高能量光子能够以单光子电离材料表面，结合飞行时间质谱仪测量纳米尺度范围内的材料成分，实现超高分辨的物质组成分布检测。在生物科学领域进行该类检测，能够实现对微观生物样本的三维成分扫描，获得更多的表征信息；在高分辨成像方面，基于极紫外激光的短波长和良好的相干性，以Gabor同轴等方法进行高分辨成像的分辨率能达到接近照明光波长的水平。已有的应用成果表明，毛细管放电极紫外激光是探索微观世界、制造微观结构的有利工具。在人类对短波长光源需求日益增长的今天，毛细管放电极紫外激光将得到更多的机会体现它的应用价值和优势。
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