【摘 要】
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本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证了理论结果的正确性。
In this paper, we d
【机 构】
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电子工程系,复旦大学电子工程系 八三级硕士研究生.
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本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证了理论结果的正确性。
In this paper, we derive the sensitivity expressions of transverse piezoresistance devices in the (001), (101), (111), (112), (001) and rectangular films by analytic method. The correctness of the theoretical results.
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