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[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,罗晏, 来源:电子学报 年份:1987
本文研究了当As~+通过SiO_2注入Si时,反冲注入高密度的氧在退火期间所引起的位锚网,以及位错网对As增强扩散的影响。给出了As增强扩散的分析模型,得到了用氧化层掩蔽作用获取...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,王晓妍, 来源:功能材料 年份:2001
首次研究了钨和碳双注入对抗磨损和抗腐蚀特性的影响,研究了抗磨损和抗腐蚀相生成的条件,以及这些相对抗磨损和抗腐蚀特性的作用,并对其改性机理进行了讨论.实验结果表明,钨...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,张通和, 来源:半导体学报 年份:2000
用金属蒸发真空弧离子源注入机将Y离子注入硅,制备出特性良好的硅化物。用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构。用束流密度为25μA/cm^2的Y注入硅可形成三层结构的硅化......
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,钱卫东, 来源:北京师范大学学报:自然科学版 年份:2001
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件.X射线衍射分析表明注入层有Al3Y和Al2O3出现.从背散射分析可以发现,Y原子...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,易仲珍, 来源:北京师范大学学报:自然科学版 年份:2001
用多次扫描电位法研究了金属Mo和Ti与C离子双注入和2种元素注入的顺序对抗腐蚀特性的影响,研究了抗腐蚀纳米相生成的条件,首次观察到细丝状纳米碳化物镶嵌相的形成,以及这些...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,王晓妍, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2001
研究了C+Mo+C注入结构和相变,用多重扫描电位法研究了其抗腐蚀特性,得出了抗腐蚀相生成的条件,以及这些相对抗腐蚀特性的作用,并对其改性机理进行了讨论.实验结果表明,在C+Mo+C双......
[期刊论文] 作者:吴瑜光,张通和,孙贵如, 来源:核技术 年份:1995
对高能磷离子注入硅、低剂量迭加注入硅,高能低能双注入硅中引起的晶格损伤、二次缺陷及退火效应进行了初步探讨。...
[期刊论文] 作者:吴瑜光,张通和,沈定予, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2000
采用MEVVA源引出的Cr离子对聚酯 (PET)薄膜进行了离子注入 ,引出的Cr离子具有多种电荷态 ,多种能量的Cr离子同时注入 ,其射程分布与单能离子注入的射程分布有明显的差别 .借...
[会议论文] 作者:汪新福,吴瑜光,孙兆祥, 来源:全国第三届环境地球化学与健康学术讨论会 年份:1987
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,罗晏,李晓明, 来源:微电子学与计算机 年份:1989
80keV As~+注入Si其剂量达5×10~(15)cm~(-2)时,用透射电子显微镜观察到,在硅中形成1000A的非晶层,在非晶层的下面分布着位错环。还研究了瞬态退火和热退火过程中非晶层的相...
[期刊论文] 作者:张通和,李国辉,吴瑜光, 来源:核技术 年份:1988
本文研究了瞬态退火As注入Si的瞬态增强扩散模型。观察了增强扩散与剩余缺陷和晶格恢复之间的关系。用背散射技术测量了As浓度分布,用透射电镜观察了注入层剩余缺陷。发现在1...
[期刊论文] 作者:王大椿,孟宪仁,吴瑜光, 来源:原子能科学技术 年份:1988
用150keV的As离子大剂量注入到铌膜上,在一定条件下制备了超导膜。其超导转变温度为6.6 K。注入层的厚度约67 nm,用迭代扣普法求得了此层中的砷浓度分布,得到了Nb与As原子浓...
[期刊论文] 作者:吴瑜光,汪新福,邓志威, 来源:核技术 年份:1982
将一组不同注入能量(80keV~180keV)和剂量(10~(14)~10~(16)atom/cm~2)的As P型硅样品与相应的标准送入原子能所反应堆中,在相同条件下照射10小时,中子通量为10~(13)n/cm~2·s...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,张通和, 来源:半导体学报 年份:2000
用金属蒸发真空弧离子源注入机将 Y离子注入硅 ,制备出特性良好的硅化物。用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构。用束流密度为 2 5μA/ cm2的 Y注入硅可形...
[期刊论文] 作者:张通和,周生辉,吴瑜光,罗晏,, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:1990
5×1016cm-2的As高注量注入Si时,瞬态退火过程中出现高密度缺陷.它是由超饱和As浓度的存在造成的,其分布随退火时间增加而展宽.这种缺陷在退火过程中导致奇异扩展的出现....
[期刊论文] 作者:张通和,易仲珍,张旭,吴瑜光, 来源:北京师范大学学报:自然科学版 年份:2001
给出了离子束提高改善生物材料的耐腐蚀和耐磨损的研究结果,也给出了改善生物材料生物相容性的方法和实验结果,并分析了利用离子束技术途径....
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,刘安东,张旭,崔平, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2002
着重研究了金属离子注入合成表面优化复合层的机理和纳米相镶嵌结构形成,探索了注入和退火过程中纳米结构和相变过程,讨论相变机制.实验中发现用较低束流密度的Mo离子注入钢...
[期刊论文] 作者:吴瑜光,张通和,刘安东,张荟星, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2002
采用MEVVA离子注入机引出的离子进行了聚酯薄膜改性研究,考虑到注入离子对表面溅射的强弱与离子的质量密切相关,所以选用质量大小不等的3种离子Cu,Si和C为注入离子,注入后的...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,肖志松,刘安东, 来源:核技术 年份:2005
利用金属蒸发真空弧(MEVVA)离子源引出的Er离子对单晶硅和单晶硅衬底上的SiO2膜进行了离子注入,用背散射方法分析了不同注入条件下Er原子浓度分布.实验结果表明,离子注入突破...
[期刊论文] 作者:吴瑜光,张通和,刘安东,张旭,周固,, 来源:中国科学E辑 年份:2003
采用MEVVA离子注入机引出的Si离子对聚酯薄膜(PET)进行了改性研究, 原子力显微镜观察表明, 注入后的聚酯膜表面比未注入PET更光滑. 用透射电子显微镜观察了注入聚酯膜的横截...
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