TMAH相关论文
建立了基于ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry,ICP-MS)测定乳制品中碘的方法.用5％TMAH做提取剂,在85℃水浴震荡......
窄线宽半导体激光器相比于传统激光器,具有光谱线宽窄以及相干性好的优势,是半导体激光器新兴应用,包括原子钟、医学传感、激光制......
Pyrolytic methylation-gas chromatography (GC) technique was developed to determine the spectinomycin in fermentation bro......
The wastewater generated by the thin film liquid crystal display (TFT-LCD) industry is not satisfactorily decontamin......
TMAH即四甲基氢氧化铵,作为湿电子化学品中的显影液,广泛应用于半导体及半导体显示领域,用于微细图形的加工.随着半导体及半导体显......
随着核物理实验和空间辐射环境探测应用的快速发展,硅PIN探测器己成为国内外研究热点,其中超薄硅PIN探测器尤其具有应用和研究价值......
该文开展了如下研究工作:1、全面了解高温压力传感器的最新发展动态,从技术角度详尽分析了不同产品的优缺点;并对SOI压力传感器的......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺，研究了四甲基氢氧化铵（TMAH）腐蚀液的特性，包括硅（100）晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫......
研究了TMAH溶液中（110）硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了（110）硅在TMAH与不同添加剂（过硫酸铵、异丙醇等）构......
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向......
介绍了四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）溶液的腐蚀特性，论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中，ＴＭＡＨ腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀......
研究了浓度为10%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液,在不同量的Si粉掺杂下,对铝膜及硅衬底的腐蚀及其pH值的变化.测试了在满足铝膜极低的......
发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1．2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。传感......
IMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于＜100＞、＜111＞单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品......
为了高效经济地实现单晶硅喷口阵列的批量加工,通过大量实验,研究了TMAH溶液在不同浓度、温度、刻蚀时间以及添加剂过硫酸铵的添加......
MEMS器件的性能与尺寸密切相关。介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法——基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀。这种方法......
研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不......
研究了pH、四甲基氢氧化铵（TMAH）、离子强度及碱处理对水基sic悬浮液流变性的影响。pH值对水基sic悬浮液的流变性具有至关重要的作用......
TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势.......
从针叶木硫酸盐原浆、氧漂浆以及氧漂后的废液中分离出残余木素,在四甲基氢氧化铵（TMAH）存在下,采用裂解气相色谱-质谱联用（Py-GC-MS）......
聚丙烯酸（PAA）和羧甲基纤维素钠（CMC）共混后以3价铬离子改性，制备了mPAA／CMC阳离子交换膜；以戊二醛和正二丁基二氯化锡改性壳聚糖（CS），制备了......
采用RF溅射制备出Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜，剥离法制备出UFPA器件单元所需的图形化金属电极，TMAH溶液进行体硅腐蚀，并且使用保护胶和独特......
采用四甲基氢氧化铵（TMAH）作为分散剂,利用沉降法、ξ电位、粒度分析、TEM等研究了TiN纳米粉体在水介质中的分散稳定机制,探讨了pH值......
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵（TMAH）交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理......
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器（LCD）产业的光刻制程中。由于T......
The etching characteristics of concave and convex corners formed in a microstructure by the intersection of {111} planes......
本研究以高科技产业常用化学品氢氧化四甲基铵(Tetramethylammonium hydroxide, TMAH)作为研究目标,以生物处理方法进行TMAH生物急......
随着国内工业快速发展,含氮、含硫等高浓度TMAH、DMSO有机废水处理日渐重要。非均相臭氧催化氧化是一种有效的有机废水预处理方式,......
采用固相球磨工艺,研究四甲基氢氧化铵(TMAH)添加量及球磨过程对TMAH在SiC粉体表面吸附效果及浆料流变性的影响。TMAH在SiC粉体表......
近年来,金刚线切(DWS)技术的普及使得晶硅(Si)太阳电池的成本大幅下降,而钝化发射极背面接触电池(PERC)等新技术的应用则显著提升......
研究了TMAH(四甲基氢氧化铵)和NaOH腐蚀液在制作单晶硅片小绒面中的应用,制作出平均尺寸小于2μm的金字塔绒面;比较了不同硅片预处......
TMAH具有刻硅速率高、晶向选择性好、低毒性和对CMOS工艺的兼容性好等优点,而成为MEMS工艺中常用的刻蚀剂。但TMAH在刻蚀过程中会......
本文研制出了压力满量程为0～1MPa、工作温度范围在0～220℃的SOI高温压力传感器。 分析了SOI材料的结构、制备方法及SOI材料的特性......
通过各向异性腐蚀硅杯实验,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系,不同腐蚀条件......
水溶液体系中有机酸、醇和酚类等极性物质的分析中，一般需要衍生化、萃取、浓缩等复杂繁琐的前处理，然后采用气相色谱法分析。而采用......
CMOS-MEMS工艺制造的微型传感器能够利用标准CMOS工艺实现传感器的低成本、批量生产,这也是MEMS传感器相对于传统传感器的优势之一......
硅的各向异性湿法腐蚀是硅片微机械加工的重要技术之一,它被广泛地应用于在硅衬底上加工各种各样的微结构,如膜结构、凹槽结构、悬......
本文介绍了在具有N-网格结构的单晶硅上通过电化学腐蚀的方法,将硅片部分区域转化成多孔硅,通过常规单晶硅外延工艺,使多孔硅所在......
本论文进行的工作是在硅微通道结构释放技术方面,以不同质量分数的TMAH溶液对硅背部进行腐蚀,从实验结果中分析了不同质量分数的TM......
本论文工作开展了纳米梁制备加工、测试和应用研究。纳米梁是纳机电系统(NEMS)基本组成结构。纳米梁加工工艺研究、纳米梁力学电学......
