微电铸技术是制备小尺寸、高精度金属微结构的常用技术。然而,在进行铜微电铸时,产品表面电流密度的分布呈现边缘大、中间小的趋势......

针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题，本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究．两种周期换向电流分别是正......

利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时，进行对流一扩散传质过程数值......

利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究......

In this paper,we report the study of the process of fabricating a multi-layermetal micro-structure using UV-LIGA overlay......

将纳米稀土La2O3作为添加剂,研究其在微细电铸镍工艺过程中的影响.采用SEM等现代分析手段对微细铸层微观结构和性能进行了测试.结......

简要分析了微细电沉积加工的两种典型技术一磁电沉积技术和超声沉积技术，并结合中物院机械制造工艺研究所的研究设备，开展了微细电沉......

采用微电铸技术对生物表面形貌进行直接复制以成形出与生物原型形貌相接近的仿生表面,是生物复制成形技术由高聚物成形向金属沉积......

鉴于微机电系统（MEMS）承载的特殊功能，其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势，成为制造复杂结构MEMS零部件的......

微电铸工艺是太赫兹全金属光栅器件成型的关键工序。金属光栅质量取决于电铸工艺中金属离子沉积的均匀性,而电铸槽阴极附近电流密......

研究了LIGA／UV—LIGA的核心技术微电铸的内在规律，对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的......