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NbN-NbB2纳米复合膜相关论文
基底偏压对NbN-NbB2纳米复合薄膜相变与力学性能的影响
利用多靶磁控共溅射技术,在不同基底偏压下制备了多组NbN-NbB2纳米复合膜,用以探究偏压对复合膜显微结构和力学性能的影响.分别利......
期刊
NbN-NbB2纳米复合膜
基底偏压
物相结构
力学性能
多靶共溅射
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