光栅刻划机相关论文
机械刻划方式是目前制造某些大面积高精度衍射光栅母板的唯一方式，光栅刻划机的机械结构与控制技术决定了光栅刻划机刻划出的光栅的......
衍射光栅作为光谱仪器中的核心器件，在各领域中有着越来越广泛的应用。机械刻划是衍射光栅制造的重要方式，主要依靠光栅刻划机完成。......
衍射光栅是光谱仪器中的核心部件,大面积高精度的衍射光栅在许多高精尖技术领域有着重要的应用价值。而用来制作大面积高精度刻划......
光栅刻划机被誉为精密机械之王，是当今世界最精密的制造设备之一。高精度光栅刻划机刻线密集并且刻划精度要求极高，通常每毫米上能刻......
学位
光栅刻划机的结构复杂,对工作环境要求严格,对各种环境振动因素的敏感度较高,很微小的振动也会对加工精度造成巨大的影响,因此隔绝......
当前,线性振动和线性隔振理论已经被研究地比较透彻,并且在工程实际问题中得到了广泛的应用,很好地解决了许多实际工程问题。然而,......
近些年,随着光栅应用的不断深入,对其性能要求也越来越高,“大面积、高精度”已经是未来光栅制造的新标准。目前,我国已经具备一定......
大面积高精度光栅刻划机结构复杂,零部件的误差分配要求极其严格,其加工精度要达到纳米级别,因此任何外部环境扰动带来的影响都可......
利用曲线修正板对曲柄滑块机构运动速度进行补偿,实现了光栅刻划机刀架的等速运动。建立了运动机构的数学模型,推导了等速修正板曲......
针对大面积光栅刻划机实验室存在的复杂振动因素,可能对光栅刻划机运行的刻划精度造成不良影响,为光栅刻划机基座设计一个隔振系统......
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方......
<正> 1.引言随着激光核聚变技术,天文学和同步辐射技术等高科技的迅速发展,大面积、高分辨率光栅在这些领域得到了越来越广泛的应......
在光栅刻划中，为了提高光栅的刻划精度，光栅刻划时的环境温度的稳定是非常重要的。运用PLC实现了中阶梯光栅刻划机工作环境温度的控......
光栅刻划机被誉为“精密机械之王”，采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段，因此，对高精度的光电式光栅......
利用两轮联动,带动曲柄滑块机构进行往复运动。通过电机驱动调整轮转动,修正滑块运动速度,实现了光栅刻划机刀架的等速运动。推导......
运用有限元手段对刀桥导轨的刚度进行了有限元分析,得到了刚度方面的分析结果和模态分析结果,并在不同位置加40N载荷进行实验验证......
用于制作母光栅的光栅刻划机的性能指标直接决定最终生产的光栅质量。为此,采用基于虚拟样机的联合仿真策略,代替传统的物理样机开......
光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进......
大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,......
传统的软件产品开发过程一般首先是完成控制硬件单元的设计与制造,再进行控制软件的开发及测试。这种开发方式不仅延长了开发周期,......
研究了光栅刻划刀架系统结构、重量及其稳定性对光栅性能指标的影响。有限元分析表明，对刻划刀架系统中的刻划刀架进行减重或使刻划......
选择刻划机工作台导轨结构时主要考虑爬行以及超精密研磨。试验结果表明,滚柱导轨在不同刻划方式下不存在爬行现象,又便于进行超精......
大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。大面积、高......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
设计了一套光栅刻划机刀架系统.该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上,利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与......
由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲......
光栅刻划机作为衍射光栅最重要的制作手段,其控制系统对获得高精度光栅具有重要影响。设计并实现了以PLC为核心的光栅刻划机的控制......
对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的......
大行程纳米定位技术是光栅刻划机制造的核心技术,本文结合光栅刻划机的特点,对基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位系统做了较为......
随着现代光谱技术的发展,光谱仪器在航空航天、天文观测、生物研究以及国防建设等各个领域都有广泛应用,而衍射光栅则是光谱仪器中......
光栅制造技术是当今最为精密的技术之一，而制作光栅的设备——光栅刻划机则被誉为“精密机械之王”，它通常需要在毛坯上实现每毫米数......
目前,大型光学系统和科学仪器发展的重要趋势是：视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。本论文涉......
随着光谱探测技术的不断发展,光栅因具有优异的分光性能以及可以满足全波段范围的使用要求等优势开始逐渐取代棱镜成为当今世界上......
提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构，推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式，实现了丝杠测试过程中......
