掠入射X射线反射技术相关论文
为了建立厚度为1 nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法,采用掠入射X射线反射技术进行国家/地区实验室间比对认证,其膜厚准确量值作......
为了建立厚度为1 nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法,采用掠入射X射线反射技术进行国家/地区实验室间比对认证,其膜厚准确量值作......
HfO2薄膜厚度达到纳米级别时，其光学性质会发生变化。光谱椭偏仪能够同时得到纳米尺度薄膜的厚度和光学常数，但是由于测量参数的关联......
为了建立厚度为1nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法，采用掠入射X射线反射技术进行国家／地区实验室间比对认证，其膜厚准确量值作为参......
随着集成电路集成度增加,材料制备工艺的发展以及工业的需要,半导体薄膜栅介电层的厚度逐渐发展到了纳米级别。传统SiO2半导体材料......
