液态源扩散相关论文
一、前言 SiO_2乳胶扩散源的出现,开辟了氧化扩散工艺的新领域,由于它具有一般固态,液态源扩散所没有的一系列优点,可以它的出现......
我们在生产XFC-80双运算放大器,和F010低功耗运算放大器时,隔离预淀积开始用液态源扩散,经常出现R_口偏大,饱和时间长,尤其是在盛......
本文对近几年来硅太阳电池的廉价制作工艺的进展作了总结和评论。主要内容有:a.扩散工艺的简化。b.廉价非真空的电极制作方法。c.S......
近几年来,乳胶扩散逐步为人们所重视。由于它具有一系列优点而日益广泛地被应用于半导体器件生产工艺中。本文着重叙述在功率晶体......
本文用TP-83型椭圆仪给出了硅器件工艺的若干重要数据:如硅片清洗后不同烘干方法的自然氧化层厚度;二氧化硅及其掺磷时的浓度与工......
本文着重研究双掺硅片热氧化后形成p-n结的结深规律.在理论上导出了p-n结的结深表达式:在一定的温度下,结深与氧化热处理时间的平......
