电子束蒸发物理气相沉积相关论文
以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0.4-0.8μm),工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO......
以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和S......
文章采用电子束蒸发物理气相沉积(EB-PVD)技术在单晶si片上制备SiC薄膜,通过台阶仪(surface profiler)、原子力显微镜(AFM)、半导体综合测......
以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4~0.8μm的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2......
本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4~0.8μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含......
以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片,即:截止带波长0.5—0.85μm、高透波长0.9~1.3μm,膜层总数为57层,总厚度达6.026μm,工艺实现采用了......
以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3~13μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法......
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为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性(截止带波长为0.3~0.4μm、0.8~1.1μm,通带波长为0.4~0.8μm),初始结构采用双截止膜系......
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以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55~0.78μm和1.0~1.3μm两个波段。工艺实现采用了电子......
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为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5-0.68μm、0.73-0.79μm,通带波长0.83-0.87μm),采用F-P型的......
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本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540~750nnl为通带区域,400—520nm、770—1100nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9......
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