硅薄膜材料相关论文
硅烷浓度是影响等离子体增强化学气相沉积硅薄膜材料特性的一个重要参数.本文通过调节硅烷浓度,得到了系列位于非晶/微晶过渡区内......
用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),低温下在廉价玻璃衬底上沉积了不同晶核密度的非晶硅(a-Si)薄膜和微晶硅(μc-Si)薄膜以及掺......
提高太阳能电池表面的氮化硅薄膜材料的折射率是提高太阳能电池转换效率的有效途径。通过分析氮化硅薄膜材料的折射率与PECVD......
计算机模拟了不同结晶比硅薄膜电池的伏安特性及光谱响应;模拟结果表明非晶/微晶叠层电池的底电池采用晶相比为40%-50%的两相硅薄膜材......
硅薄膜材料和电池研究已经成为热点,开发低价、稳定和高效率的太阳电池是光伏研究的目标。微晶硅薄膜电池克服了非晶硅薄膜电池光致......
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)方法,在保持其它参量不变的条件下,通过改变SiH4浓度(SC)成功地制备了一系列Si基......
<正> 低温晶化硅薄膜材料及非晶硅/低温晶化硅叠层电池的研究是南开大学光电子所承担的国家重点基础研究发展规划项目。该项目进行......