高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,......

We present the fabrication and testing of a silicon carbide(SiC)balanced mass double-ended tuning fork that survives har......

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鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是“微米”级，并且所要处理的人号最大仅为微伏量级，信噪比极低，因此在微传感器的开环测试中需要采取......

介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，在而且能成功地测出从拾振电阻获得的......

光源激励和光信号检测，是全光纤硅谐振传感器的两项关键技术。通过研究，成功地解决了光源激励中输出功率、波形、恒流工答和宽频带等......

<正> 本届展览会参展的各种传感器,从测量参数看主要分为压力、加速度、流量、液位和温度五大类,广泛用于工业过程测控系统.从技术......

介绍一种新型的压力传感器，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性，测量精度，体积，重量等方面都有传统的传感器所......

技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制,利用单晶硅的良好机械特性,将压力的作用应力转......

<正> 一、引言 微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景。我国以前自主研制的微......

<正>先进传感器是指采用最新技术研制的传感器。这类传感器具有鲜明的特点,已引起人们广泛的关注。有些先进传感器已经从实验室研......