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半导体硅锥的场致发射所具有的饱和特性可以用于制造一种新型的光电探测器,本文介绍了这种光电探测器的基本原理和构造,并对其光电......
阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个......
详细研究了利用硅的各向异性腐蚀、各向同性腐蚀制备硅锥阴极阵列的工艺。采用快速腐蚀与缓蚀削尖两步工艺，制备出了均匀、尖锐的硅......
场致电子发射是冷阴极电子发射,可广泛应用于平板显示器、X射线管电子源、电子显微镜等多个领域。本论文分三个部分分别研究硅纳米......
用有限差分法求解相互耦合的电流连续方程导热方程，对硅锥阴极的电热状态进行了数值模拟。模拟中采用了与温度、电场相关电导率模型......
