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本文采用一种全新的脉冲激光淀积(PLD)技术——离子束辅助的脉冲激光淀积(IBA-PLD)法,利用波长为532nm的Nd:YAG脉冲激光,进行了Si......
简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。着重介绍了离子束辅助淀积制备该膜系的过程，给出了用该方法制作8～12μm波......
IBAD(离子束辅助淀积)是一种很有潜力的材料表面改性和优质薄膜合成技术。本文在论述它在薄膜科学研究中的特点和应用基础上,提出......
研制了新型多阳极永磁冷阴极离子源，它可用于低能离子束辅助淀积、离子束刻蚀和离子束表面改性等领域。该新型离子源具有引出束形状......
本文介绍一种新研制的用于离子束辅助淀积薄膜的宽束冷阴积离子源,与目前国内外普遍采用的考夫曼(Kaufman)型热阴极离子源相比,它......
通过对PMMA光学塑料红、绿、蓝三种光减反射膜的设计和制备 ,研究了这种材料的真空镀膜技术 ,对制备的膜层进行了光谱、牢固性和防......
