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根据多晶硅薄膜氢化的微观机理 ,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下 ,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢......
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用多晶硅薄膜实现AMLCD及其外围电路的集成一体化,即玻璃基系统(SOG),是多晶硅薄膜晶体管和AMLCD的十分重要的发展趋势.该文从工艺......
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法.在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化......
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理，提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下，采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效......
