提出了一种具有n+浮空层的横向super junction结构,此结构通过磷或砷离子注入在高阻衬底上形成n+浮空层来消除传统横向super junct......

提出了一种具有n^＋浮空层的横向superjunction结构，此结构通过磷或砷离子注入在高阻衬底上形成n^＋浮空层来消除传统横向superjunction......

现代电力电子技术的发展要求功率器件具有更优越的高压、高速、低功耗性能,超结(Superjunction,简称SJ)器件作为一类新型功率器件......

电能以其便于传输、转化、无污染等特性在人类社会的发展中占有举足轻重的地位。而电能并不能被直接使用而是需要通过半导体功率器......