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本文介绍APCVD沉积TiO<,2>减反射膜在商业化单晶硅太阳电池生产中的应用,实验研究了TiO<,2>减反射膜对单体太阳电池片和组件的转换效率的贡献,并对表面钝化工艺进行了讨论.给出了实用的工艺流程.
TiO减反射膜应用于商业化单晶硅太阳电池生产
【摘 要】
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本文介绍APCVD沉积TiO减反射膜在商业化单晶硅太阳电池生产中的应用,实验研究了TiO减反射膜对单体太阳电池片和组件的转换效率的贡献,并对表面钝化工艺进行了讨论.给出了实用的工艺流程.
【机 构】
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云南半导体器件厂(昆明)
【出 处】
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中国第六届光伏会议
【发表日期】
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2000年10期
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