【摘 要】
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介绍了应用有限元分析方法对表面微机械加工差分电容式加速度传感器进行结构建模,并模拟分析了加速度与电容的变化关系,从而得到传感器的灵敏度特性函数.在此基础上,进一步分析了不同结构参数下的模型特性,结果表明:灵敏度随着梁宽的增加而减小,而随着梁高和梁长的增加而增加;固有频率随着梁宽和梁高的增加而增加,而随着梁长的增加而减小.这些结论对差分电容式加速度传感器的设计有重要意义.
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨)
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介绍了应用有限元分析方法对表面微机械加工差分电容式加速度传感器进行结构建模,并模拟分析了加速度与电容的变化关系,从而得到传感器的灵敏度特性函数.在此基础上,进一步分析了不同结构参数下的模型特性,结果表明:灵敏度随着梁宽的增加而减小,而随着梁高和梁长的增加而增加;固有频率随着梁宽和梁高的增加而增加,而随着梁长的增加而减小.这些结论对差分电容式加速度传感器的设计有重要意义.
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