【摘 要】
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采用溶胶-凝胶方法制备（CH3）2Si（OC2H5）2预聚体涂膜液以及掺入SiO2悬胶体涂膜液改性，采用旋转法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制防潮膜，热处理后膜层固化。SiO2改性的CH3O防潮膜，热
【机 构】
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高功率激光物理联合实验室中科院上海光学精密机械研究所
【基金项目】
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国家高技术863计划(863-804)．
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采用溶胶-凝胶方法制备（CH3）2Si（OC2H5）2预聚体涂膜液以及掺入SiO2悬胶体涂膜液改性，采用旋转法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制防潮膜，热处理后膜层固化。SiO2改性的CH3O防潮膜，热处理后的膜层耐摩擦性能明显改善。然后旋转涂制第二层多空性SiO2减反膜，涂膜胶体通过硅酸乙脂碱催化水解缩聚制得，减反膜的折射率为约1．25，玻璃棒涂膜后激光波长1053nm减少表面反射率6．5％-7．5％，双层膜激光破坏阈值12J／cm^2，1053nm／1ns，膜层表面粗糙度（RMS）2．523nm。直径20
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