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该文由溅射成膜技术入手，着重介绍了偏压溅射技术的原理、优点及其应用，并从实际生产、试验出发，讨论了偏压溅射的某些特性，阐述了自己的一些想法。
偏压溅射技术及其应用
【摘 要】
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该文由溅射成膜技术入手，着重介绍了偏压溅射技术的原理、优点及其应用，并从实际生产、试验出发，讨论了偏压溅射的某些特性，阐述了自己的一些想法。
【机 构】
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空间无线电技术研究所
【出 处】
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'98全国第七届MIC电路及工艺会议
【发表日期】
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1998年期
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