【摘 要】
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文章简述了采用局域缺陷促进硅光吸收特性的发展状况,概括了用离子注入等技术引入局域缺陷提高硅光吸收的技术,探讨了这种技术方案的潜力.
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
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文章简述了采用局域缺陷促进硅光吸收特性的发展状况,概括了用离子注入等技术引入局域缺陷提高硅光吸收的技术,探讨了这种技术方案的潜力.
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