【摘 要】
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类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个;一是寻求人工合成β-CN超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.采用电解甲醇以及甲醇和尿素混合溶液的方法,得到了DLC膜和掺氮的类金刚石薄膜(简称CN膜),基底材料为N(100)单晶硅.用SPM-9500型原子力显微镜观察样品表面形貌;在UMT-2MT型摩擦磨损实验机上测定薄膜的摩擦性能.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)
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类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个;一是寻求人工合成β-C<,3>N<,4>超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.采用电解甲醇以及甲醇和尿素混合溶液的方法,得到了DLC膜和掺氮的类金刚石薄膜(简称CN<,x>膜),基底材料为N(100)单晶硅.用SPM-9500型原子力显微镜观察样品表面形貌;在UMT-2MT型摩擦磨损实验机上测定薄膜的摩擦性能.
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