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CVD金刚石涂层与硬质合金衬底间附着力的研究
CVD金刚石涂层与硬质合金衬底间附着力的研究
来源 :'96中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lpwxlwan
【摘 要】
:
以压痕法涂层破碎时的负荷来评估附着力,研究了衬底预处理,CVD工艺和涂层厚度对附着力的影响规律,得到了高附着力的CVD金刚石涂层制备工艺。
【作 者】
:
张志明
何贤昶
【机 构】
:
交通大学应用化学系
【出 处】
:
'96中国材料研讨会
【发表日期】
:
1996年期
【关键词】
:
金刚石涂层
硬质
金衬底
高附着力
衬底预处理
制备工艺
涂层厚度
压痕法
评估
规律
负荷
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以压痕法涂层破碎时的负荷来评估附着力,研究了衬底预处理,CVD工艺和涂层厚度对附着力的影响规律,得到了高附着力的CVD金刚石涂层制备工艺。
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