【摘 要】
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金刚石膜具有优异的物理化学和机械性能,已经在红外窗口、散热基板、各种刀具、耐磨部件等方面获得应用.金刚石膜的断裂强度、耐磨性是实际应用中金刚石膜质量的重要判断指标
【机 构】
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北京天地东方金刚石技术有限公司(北京)
【出 处】
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中国硅酸监学会第二届青年学术讨论会
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金刚石膜具有优异的物理化学和机械性能,已经在红外窗口、散热基板、各种刀具、耐磨部件等方面获得应用.金刚石膜的断裂强度、耐磨性是实际应用中金刚石膜质量的重要判断指标.本文介绍了以三点弯曲法和金刚石膜刀具切削铝材实验对金刚石膜的断裂强度和耐磨性的研究.发现金刚石膜不同部位其断裂强度和耐磨性会有明显差别,例如:膜片中央约25mm直径内断裂强度为613MPa,靠近的环部(25-45mm内)断裂强度为734MPa,同时虽然膜片生长过程基体旋转,但因为不同基体部位和水冷套接触不同,温度也就不同,膜片的断裂强度显示出非轴对称的干扰,在直径的两端断裂强度可以有很大差异:794MPa和539MPa.对膜片成核面和生长面加压时断裂强度的差异进行了讨论.耐磨性也表现出边部和中部的差异.所以,在对投入生产的膜片检验取样方面,仅在一个位置取样代表照片整个膜片质量情况是很粗糙的.
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