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气动测量用微结构硅压力传感器研制
气动测量用微结构硅压力传感器研制
来源 :第三届第四次全国气动实验测控自动化技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mysqlfalse
【摘 要】
:
该文简概论经述了用于气动测压的一组微结构式硅压力传感器的性能及研制中主要考虑的问题与实际结果。
【作 者】
:
周文德
【机 构】
:
空气动力研究所
【出 处】
:
第三届第四次全国气动实验测控自动化技术交流会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
气动
测量用
微结构
硅压力传感器
实际结果
结构式
性能
概论
测压
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该文简概论经述了用于气动测压的一组微结构式硅压力传感器的性能及研制中主要考虑的问题与实际结果。
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