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本文介绍了我国第一代生产型(3片2英寸衬底)MOCVD设备的设计思想、机械性能以及设备使用情况；第二代生产型(6片2英寸衬底)MOCVD设备的设计思想；以及以后国产MOCVD设备的发展趋势。
国产MOCVD设备的特点、性能及发展趋势
【摘 要】
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本文介绍了我国第一代生产型(3片2英寸衬底)MOCVD设备的设计思想、机械性能以及设备使用情况；第二代生产型(6片2英寸衬底)MOCVD设备的设计思想；以及以后国产MOCVD设备的发展趋
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京912信箱100083
【出 处】
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2004年高大功率LED外延及芯片技术研讨会
【发表日期】
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2004年9期
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