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针对RESURF原理在横向NPN管中的应用，介绍了目前国内外流行的三种横向NPN管结构，并从其耐压特性、各自的优缺点和工艺实现等方面，进行了详细的分析对比，为以后的应用打下基础。
SOI横向NPN管耐压结构研究
【摘 要】
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针对RESURF原理在横向NPN管中的应用，介绍了目前国内外流行的三种横向NPN管结构，并从其耐压特性、各自的优缺点和工艺实现等方面，进行了详细的分析对比，为以后的应用打下基础
【机 构】
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重庆大学光电工程学院,重庆400044模拟集成电路国家级重点实验室模拟集成电路国家级重点实验室中国电子科技集团第二十四研究所,重庆400060
【出 处】
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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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2007年11期
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