【摘 要】
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高速、精密运动是高端装备基础。平面运动应用广泛,目前应用的伺服电机为旋转或直线电机,平面运动需由X、Y电机导轨叠加组成,其运动体积大、运动质量重,且由于机械摩擦,难以
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高速、精密运动是高端装备基础。平面运动应用广泛,目前应用的伺服电机为旋转或直线电机,平面运动需由X、Y电机导轨叠加组成,其运动体积大、运动质量重,且由于机械摩擦,难以获得高的运动性能;对于高精密运动,使用气浮方式支撑运动平台,减少接触摩擦,从而提高整体运动精度。而磁浮平面电机动子悬浮于磁场直接作平面驱动。由于动子悬浮无接触,其运动过程无摩擦、无磨损,无需机械导轨,平面运动机构极大简化,运动质量大幅减轻,利于实现高速、高加速运动,是平面运动机构的理想模型。因此磁浮平面电机的研究,对我国高精密设备的发展具有十分重要意义。本文以动圈式磁浮平面电机为研究对象,进行运动控制接口系统设计。文中介绍了磁浮平面电机的控制原理与6自由度解耦方法,分析了运动测控系统的功能需求,对相关测控传感器进行选择和分布。本文对测控接口进行了功能分析,得出接口卡总体方案,并对测控接口进行硬件设计,包括电机驱动接口、传感器接口、高速串行光纤接口、光电隔离IO电路。采用自上而下的设计思想,将测控接口系统进行功能模块划分,采用FPGA对各模块进行驱动设计。搭建系统测试平台,对测控接口系统各个模块进行了测试。测试结果表明,电机驱动接口和模拟传感器接口都已经达到预期的转换精度,光纤传输速度达到1.25G/S,FPGA控制器满足各种事件处理机制,测控接口卡已经达到设计需求。
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