用于光探测的新型半导体异质结特性研究

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ZnMgO/ZnO异质结作为一种新型的异质结半导体,凭借其在光电器件领域具有很大的应用潜力而得到广泛关注。近年来,ZnMgO/ZnO异质结中二维电子气(2DEG)输运性质的研究虽然已取得一定的进展,但高场输运特性以及低温下限制2DEG迁移率的散射机制例如合金群散射(ACS)等仍需要进一步的探索。另外,在ZnMgO/ZnO单异质结界面处插入一MgO隔离薄层可形成ZnMgO/MgO/ZnO异质结构,由于其拥有比ZnMgO/ZnO量子阱(QW)更大的2DEG浓度和迁移率,因而在高频、高功率器件制造更具发展优势。但对于ZnMgO/MgO/ZnO异质结的研究主要集于其迁移率特性分析,尚未见到由于极化效应产生的内建电场(BEF)对ZnMgO/MgO/ZnO异质结中子带间跃迁光吸收(ITOA)性质影响的报道。针对上述问题,本文分别探究ACS对ZnMgO/ZnO异质结2DEG输运性质的影响以及ZnMgO/MgO/ZnO量子阱材料特性,具体内容如下:1.使用自洽求解Schr?dinger-Poisson方程以获得ZnMgO/ZnO异质结的子带能级、2DEG波函数和2DEG浓度等,考虑低温下ZnMgO/ZnO异质结中较为主要的散射机制,包括了ACS、位错散射(DIS)、界面粗糙散射(IRS)、声子散射(PHS)及合金无序散射(ADS)等,然后使用Matthiessen’s法则来计算总的2DEG迁移率。本文重点探索了低温下合金群散射对2DEG迁移率的影响。与此同时,根据第一性原理计算分别获得ZnO和ZnMgO的能带结构及相关参数,在此基础上,考虑到ACS、DIS、IRS、ADS和PHS等机制的作用,建立适于模拟异质结电子输运的蒙特卡罗(MC)模型,包括三能谷和五能谷MC模型,进而模拟ACS对ZnMgO/ZnO异质结低场、高场2DEG输运特性的影响。结果表明:合金群散射是一种由合金组分波动引起沟道电子能级波动的散射,因而Zn1-xMgxO势垒层的组分波动会影响2DEG迁移率。Mg组分波动越大,受ACS所限制的2DEG迁移率值越小。此外,合金群散射是ZnMgO/ZnO异质结低温下主导的散射机制之一。2.对于含有MgO插入层纤锌矿Zn1-xMgxO/MgO/ZnO量子阱,考虑各层自发极化(SP)、压电极化(PE)效应产生内建电场的影响,采用自洽求解Schr?dinger-Poisson方程,获得2DEG的本征能级与波函数。在此基础上,研究了Zn1-xMgxO/MgO/ZnO异质结中2DEG分布的尺寸效应(SE)和三元混晶(TMC)效应。进而,使用密度矩阵方法来计算子带间光学吸收系数,探究Zn1-xMgxO/MgO/ZnO QW的结构参数对子带间跃迁光吸收的影响。研究结果表明,MgO插入层厚度和Zn1-xMgxO势垒层中Mg含量的增加均会增强ZnO势阱中的内建电场强度,导致2DEG的分布更靠近MgO/ZnO异质结界面。此外,三元混晶势垒层中Mg含量、阱宽以及势垒厚度均会影响光吸收系数。当Mg含量增加时,ITOA吸收峰发生蓝移并且峰值慢慢增大。当阱宽逐渐增大时,ITOA吸收峰峰值逐渐下降,且位置产生红移。此外,随着势垒厚度的不断增大,ITOA吸收峰发生红移,同时峰值逐渐降低。论文研究为设计与制作高性能的ZnMgO/ZnO以及ZnMgO/MgO/ZnO异质结器件提供一定的理论参考。
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