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CVD金刚石膜具有高硬度和高耐磨性、易破碎或剥落、抛光难度大等特点。本论文提出了一种全新的金刚石膜抛光技术—电火花抛光法。首先在金刚石膜表面镀覆一层导电层，使金刚石膜成为导体，然后利用电火花放电加工，去除金刚石膜表面凸出的尖峰，达到抛光的目的。 本文首先对金刚石膜表面镀膜进行了研究，并采用多弧离子镀和化学镀的方法进行镀膜实验。结果表明：采用多弧离子镀方法镀膜时有较大的金属液滴沉积到镀层中，且施镀需要真空设备，成本较高；采用化学镀方法，镀膜均匀致密，表面无大的金属颗粒，且施