该文以分子动力学模拟为研究手段,对单晶Si的磨削过程进行仿真实验,并对仿真结果进行分析.该文首先介绍了分子动力学模拟的基本概念和基本理论.重点研究了原子间势函数的选取、固体中常用的势函数以及运动方程算法的确定.在此基础上,建立了单晶Si磨削过程的分子动力学模型,将磨削过程分为压痕和刻划两个加工过程进行分析研究.采用Morse势函数描述原子间的相互作用,以牛顿方程建立力学运动方程,使用改进后的Verlet算法求解原子运动轨迹.在求解过程中,为减少计算时间采用了"截断势"的作法;为保持恒温层原子温度不变,采用了速度标定法.分子动力学仿真结果表明,磨削加工过程可分为三个特征阶段,即初期弹性变形阶段、中期塑性变形阶段、非晶层形成阶段;并从原子角度分析了微量磨削过程中原子间势能的变化、磨削力、应力状态等特征,解释了微观材料的去除和表面形成机理.