纳米磨削相关论文
该文以分子动力学模拟为研究手段,对单晶Si的磨削过程进行仿真实验,并对仿真结果进行分析.该文首先介绍了分子动力学模拟的基本概......
采用细粒度砂轮的纳米磨削来实现碳化硅晶片高平整度和低损伤加工新方法.磨削试验表明采用纳米磨削50.8 mm碳化硅晶片时其平整度在......
采用分子动力学方法模拟了金刚石磨粒对单晶铜工件的纳米磨削过程。基于模拟结果分析了工件在磨削过程中应力及温度的变化，并据此建......
纳米磨削是实现超精密加工的重要方法，纳米磨削能产生极其薄的切屑，实验证明纳米磨削的切屑厚度可以下降到1nm。因此可以使用分子动......
详细介绍了国外分子动力学仿真技术在纳米加工中的应用情况。合理选择了超高速纳米磨削单晶铜和单晶铝的分子动力学仿真势函数，进行......
采用Voronoi算法构造多晶体3J33模型,再采用分子动力学(molecular dynamics,MD)实现单晶和多晶3J33的纳米磨削仿真,利用嵌入式原子......
分析了硅片纳米磨削过程中磨粒切削深度的特点，采用基于扫描白光干涉原理的三维表面轮廓仪对磨削后硅片表面的磨削沟槽的深度和宽度......
采用分子动力学方法，建立磨粒和工件的原子模型，从分子和原子空间角度观察微量磨削过程的磨削能量消耗、应力状态、磨削力和磨削温度......
碲镉汞(Hg1-xCdxTe, MCT)晶体是Ⅱ—Ⅵ族软脆光电材料的杰出代表,是当代最重要的红外探测器材料；同时具有高吸收系数、高量子效率、......
随着纳米加工技术的蓬勃发展，具有极高表面质量的熔石英材料在原子能、航空航天、雷达、导弹等工业领域得到了广泛的应用，特别是在光......
目前 ,以线性断裂力学为基础的加工理论对解释微切削加工机理还存在不足 .分子动力学分析的方法在研究纳米尺度或原子尺度下的固体......
期刊
单晶硅是集成电路（IC）制造过程中最常用的衬底材料,单晶硅的表面质量直接影响着器件的性能、成品率以及芯片寿命。随着单晶硅尺寸的......
