【摘 要】
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本论文采用溶胶-凝胶法制备了清澈、透明、稳定的勃姆石溶胶,勃姆石溶胶经干燥烧结制备出不同晶型和相应颗粒尺寸的纳米氧化铝粉体;制备出的勃姆石溶胶经老化24小时后用提拉法
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本论文采用溶胶-凝胶法制备了清澈、透明、稳定的勃姆石溶胶,勃姆石溶胶经干燥烧结制备出不同晶型和相应颗粒尺寸的纳米氧化铝粉体;制备出的勃姆石溶胶经老化24小时后用提拉法镀氧化铝薄膜。镀氧化铝薄膜时分别采用不同衬底,分别为普通玻璃、石英玻璃、单晶硅片等。前两个阶段对镀氧化铝薄膜的浸泡时间、提拉速度及提拉层数进行研究,后一阶段对氧化铝薄膜的烧结特性进行了研究。同时对不同晶型和对应的颗粒尺寸纳米氧化铝粉体以及薄膜样品的红外吸收性能进行了研究。
研究结果表明:在制备勃姆石溶胶过程中,pH值、摩尔比(异丙醇铝/水)、水解温度、回流温度等因素对制备勃姆石溶胶的特性以及对后期加工制备出的纳米氧化铝粉体和薄膜有一定的影响并通过优化得出了制备勃姆石溶胶的较佳试验工艺参数;考察了勃姆石凝胶-经干燥烧结后的氧化铝晶型相变及相应颗粒尺寸分布变化,在800℃至1050℃时,γ-Al2O3向θ-Al2O3相变过程中颗粒尺寸变化不大,到完全相变为α-Al2O3时,颗粒尺寸急剧增大,并有大颗粒形成。通过用勃姆石溶胶以不同衬底来制备氧化铝薄膜,给出了制备氧化铝薄膜的一些工艺参数和条件;还在实验中发现,氧化铝薄膜样品与粉体样品相比,其相应晶型相变转变温度提高100℃,并且在完全相变成α-Al2O3时粒径大小不是急剧增大,相应的α-Al2O3薄膜样品的粒径比α-Al2O3粉体样品粒径小15纳米。
分别对氧化铝粉体和薄膜样品的的红外吸收性能进行测试,结果表明:带边吸收的蓝移、红移主要由晶型和量子尺寸效应共同作用,但晶型起主要作用。
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