随着液晶玻璃基板生产线不断升级,玻璃基板的尺寸越来越大,厚度越来越薄。从第7代线开始,气浮支承传输逐步取代滚轮支承传输,成为新一代液晶玻璃基板光学自动检测仪器中的一项关键技术。液晶玻璃基板在线检测过程中对玻璃板在垂直方向上的变形量有严格的要求,本文主要从以下两个方面进行研究,首先对气浮支承下的液晶玻璃板变形进行理论分析,进而研究气浮平台的参数对变形的影响。文中基于弹性薄板的小挠度弯曲理论和流体润滑理论对气浮支承下的液晶玻璃板变形进行理论分析,推导了液晶玻璃薄板在吹吸喷嘴作用下的最大挠度计算公式。通过分析玻璃基板单元,可知最大挠度出现在玻璃基板单元的中心,并与毛细管排布间距的四次方成正比。通过Fluent对液晶玻璃基板气浮支承系统进行仿真,得到了不同喷嘴孔间距下的载荷分布以及玻璃基板最大变形处受到载荷的准确值,综合考虑玻璃板的最大变形量要求、气膜面的压力分布状况及经济性,可以得到气膜单元上通孔的横向间距范围。在理论研究的基础上,给出了一组采用气浮支承传输的液晶玻璃基板光学检测仪器的喷嘴布置参数:喷嘴的合理间距应处于20~25mm之间。利用Workbench流固耦合仿真软件对气浮平台支承下的单个玻璃基板进行建模仿真,详细研究了供气压力(正压和负压)、毛细管长度、气腔长度对玻璃基板变形的影响,考虑不同情况下气膜面的压力分布及质量流量,实现对气浮平台进行优化设计。设计了一种新型的供气模式,即提高纵向中心负压孔的压力。仿真结果显示玻璃基板的变形以及气膜面的压力分布都要明显优于原有的供气模式。在理论研究和仿真分析基础上,对气浮平台的结构进行了工程优化设计,试制了原理样机。通过对液晶平板显示屏自动光学检测仪原理样机气浮支承系统的检测,可知当设备稳定运行时玻璃基板的变形及气膜面压力的稳定性均达到项目要求。