电镀金刚石线锯具有优异的锯切加工性能,在光伏硅晶体切片加工和集成电路的衬底切片加工领域得到广泛应用。为降低微电子和光电子产品成本,提高晶体材料的利用率,金刚石线锯的基体直径越来越小,但对金刚石线锯的质量要求越来越高。在电镀金刚石线锯的一机多线制造工艺中,金刚石线锯表面易出现磨粒团聚、磨粒分布不均匀和一机多线之间质量差异较大等问题,制约了电镀金刚石线锯的质量提升和成本降低。本文针对电镀金刚石线锯六线悬浮上砂生产线上砂工艺存在的问题,改进设计了上砂槽内扫砂管结构,对扫砂管和上砂槽进行了流场分析,搭建了扫砂管喷砂口流速测试实验台,并对扫砂管喷砂口流速进行了实验测试。通过研究,确定六线悬浮上砂工艺参数,研究工作对提高电镀金刚石线锯六线悬浮上砂制造质量具有重要意义。本文的主要研究工作归纳如下:(1)分析了电镀金刚石线锯六线悬浮上砂系统的上砂槽及扫砂管结构,发现上砂槽内两扫砂管间距不合理、扫砂管端部进液、上砂槽池底液流死区等问题,提出了扫砂管结构改进设计方案,设计了中间进液扫砂管结构。(2)建立了一端进液结构和中间进液a、b结构扫砂管内流场仿真分析模型,分析了扫砂管不同入口流速和喷砂口位置对喷砂口流速的影响,搭建了扫砂管喷砂口流速测试实验台并进行了实验研究。实验测试结果和仿真分析结果比较吻合。一端进液扫砂管喷砂口流速随着与进液口距离减小而线性降低;中间进液扫砂管两边喷砂口流速以进液口为中心对称分布;中间进液b结构扫砂管两端喷砂口流速最高,利于克服上砂槽池底液流死区和沉砂现象。(3)建立了含有扫砂管的上砂槽内流场仿真分析模型,仿真分析了扫砂管往复运动速度、扫砂管进液口流速和扫砂管结构对上砂槽内流场的影响。中间进液b结构扫砂管较一端进液结构扫砂管增强了上砂槽内流体流动均匀性。上砂槽内流体流速受扫砂管进液口流速影响较大,受扫砂管往复运动速度影响较小。通过仿真分析,确定了电镀金刚石线锯六线悬浮上砂生产线的扫砂管往复运动速度和扫砂管进液口流速。(4)对上砂槽内的金刚石微粒进行了受力分析,分析了电镀金刚石线锯六线悬浮上砂法的上砂槽内线锯基体布置间距对上砂的影响,计算了金刚石微粒粘附线锯基体后能够被镀层覆盖所需的时间。