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光子筛是近10年发展起来的一种新型的衍射光学成像器件,它用微孔环带阵列代替菲涅尔波带片中的透明环带,每一个微孔的衍射光在光子筛后的相应位置同相叠加,大大提高了光子筛的聚焦特性,并且可以有效抑制聚焦光斑的旁瓣,提高分辨率,使得成像质量有了很大提高。光子筛具有以下优点:体积小、重量轻、设计灵活、分辨率高、光谱范围宽、制成阵列容易。它的光谱范围涉及了传统的折反射光学器件难以覆盖的的光波段(包括可见光、红外光、软X射线和极紫外光)。本文针对准相位型光子筛进行了深入研究,研究内容和创新之处被概括为如下几点:1