【摘 要】
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MEMS微加速度计广泛应用于汽车安全气囊、智能手机等日常生活的消费产品中。其中叉指式微加速度计凭借成本低、检测精度高、温度敏感性小、噪声特性好等优点已成为MEMS微加速度计中备受关注的研究对象。在叉指式微加速度计的设计过程中,电容值的计算大多采用理想电容计算公式,而忽略了由于电容极板的边缘效应的存在而产生的附加电容,这会导致电容值在理论计算与实际使用过程之间存在差异。这种由电容边缘效应产生的实际电
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MEMS微加速度计广泛应用于汽车安全气囊、智能手机等日常生活的消费产品中。其中叉指式微加速度计凭借成本低、检测精度高、温度敏感性小、噪声特性好等优点已成为MEMS微加速度计中备受关注的研究对象。在叉指式微加速度计的设计过程中,电容值的计算大多采用理想电容计算公式,而忽略了由于电容极板的边缘效应的存在而产生的附加电容,这会导致电容值在理论计算与实际使用过程之间存在差异。这种由电容边缘效应产生的实际电容值与理论结果间的误差将影响叉指式微加速度计的输出精度。所以,研究电容极板的边缘效应对微加速度计电容值的
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铲运机作为矿山井下广泛使用的工程车辆,其作业环境为高温、高湿、强振动,作业工况复杂,驾驶人员的工作环境比较恶劣。驾驶员要完成铲运机的速度方向操作和工作装置操作,劳动
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