【摘 要】
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在金刚石气相成核理论分析的基础上,该文系统地研究了实验条件和实验参数对金刚石成核及成核密度的影响,分析了氧气-乙炔火焰法沉积金刚石的成核机理和成核动力学过程;完成了
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在金刚石气相成核理论分析的基础上,该文系统地研究了实验条件和实验参数对金刚石成核及成核密度的影响,分析了氧气-乙炔火焰法沉积金刚石的成核机理和成核动力学过程;完成了预沉积过渡层工艺提高金刚石在金属钨衬底表面成核密度的实验研究.同时,实验研究了预沉积时间对金刚石晶粒尺寸均匀性的影响.在分析氧气-乙炔火焰的燃烧特性影响的基础上,提出了旋转湍流火焰沉积金刚石膜的新工艺方法,进行了实验参数与金刚石结晶质量、生长速度和成膜面积关系的实验研究.该文提出了变参数沉积金刚石厚膜的工艺方法,变参数沉积工艺和不变参数沉积工艺对比实验结果表明,交替改变焰心留任顶到衬底表面距离s可提高厚膜厚度的均匀性;交替改变氧气和乙炔气体的混合比例,可以细化金刚石晶粒尺寸,提高晶粒之间结合的紧密性.该文利用钎焊+扩散焊复合焊接工艺,实验研究了Ti元素在提高CVD金刚石厚膜与硬质合金刀片之间焊接强度中的作用,为探索厚膜刀具的焊接工艺进行了初的研究,并利用Cu-Ag-Ti合金作为焊接钎料,成功地制作了厚膜刀具.该文利用原子力显微镜分析了厚膜组织结构和晶粒尺寸对刀具刃口半径的影响,为改善厚膜的沉积工艺、合成用于制作高锋锐度刀具的金刚石厚膜奠定了基础.
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