电子衍射在现代物理中占有重要地位,是人们探索物质结构的重要途径之一。随着人们对微观世界认识的不断加深,标定电子衍射花样成为获得材料结构信息、晶体结构和测定固态试样微区化学成分的关键。电子受原子中电子和原子核的散射很强,透射很弱,适用于研究薄膜的表面结构。如果薄膜太厚,电子衍射会不明显或者不能发生,影响对材料微观结构的认识,同时电子衍射花样受到入射波长、入射角等的影响,为了提高电子衍射花样效果,获得晶体结构的精确信息,为使用电子衍射方法确定晶体结构提供技术支持,论文研究影响薄膜质量及厚度的因素,同时讨论不同高压下电子衍射花样所得到的晶面指数,获得了电子衍射确定晶体材料的最佳参数。本实验采用蒸镀法制备银薄膜,通过改变镀膜电流、沉积时间及衬底材料火棉胶的厚度获得不同结构的银薄膜,然后在不同灯丝电压和加速高压下测量薄膜的电子衍射花样,对比分析最终获得最佳蒸镀参数及灯丝电压和加速高压,实验结果表明：在真空度,沉积时间保持不变情况下,镀膜电流越小,薄膜均匀性和致密性越差；真空度,镀膜电流保持不变,沉积时间越长,薄膜均匀性和致密性也越差,当镀膜真空度保持在p=1×10-3pa,镀膜电流为24A、薄膜沉积时间20.17s时,所得薄膜均匀性和致密性都最好；保持电子衍射真空度p=8×10-3pa、加速高压25kv、灯丝电压140v时,电子衍射花样的可见度最好；同时,对同一种结构薄膜,灯丝电压不变、加速电压越高,电子衍射环半径越小；加速电压不变,随着灯丝电压的增大,得到的电子衍射图像越清晰。因此,利用电子衍射确定晶体材料微观结构时,实验的最佳参数选为：底膜厚度采用0.08毫升火棉胶醋酸戊脂溶液制成的火棉胶,镀膜真空度p=1×10-3、镀膜电流24A、薄膜沉积时间20.17s,电子衍射真空度p=8×10-3、加速高压25kv、灯丝电压140v。